一．真空室

1.内腔尺寸：φ500mm(直径)×500mm(高) ，门框厚度27mm,围板厚6mm,上下底板厚20mm。真空室体内、外表面进行拉丝抛光处理，密封面镜面抛光。                    

2.形式：立式前开门, 门开关由气缸控制。门面及腔体外壁焊接不锈钢矩形水管，并通冷却水(含高阀上与真空室的连接部位)，高阀抽气室与腔体整体连接。

3.材料：采用304不锈钢材料

4.防污板：

A.内衬不锈钢材料（304）防污板，底部防污隔热板σ=2mm(做型）；侧面防污板δ=1mm；

B.底部防污板无需螺母固定；

C.真空室底面防污板共2套以便优化生产周期；

D.防污板进行更精细化设计：1、能防护到转动系统中心部件；2、能有效防护晶控探头的四壁及导线；

5.观察窗：门上部设观察窗口1个,以便观察金属镀膜。金属镀膜窗口为直接水冷式，装备有耐高温石英玻璃、防辐射玻璃和防强光防护镜。

6.在抽气口设置插入式百叶窗挡板（2套）、防滑片栅网，拆卸清洗方便。

二．真空系统

1.极限真空度：3.0×10^-4Pa（真空室内安装完全的条件下测试）

2.恢复真空时间：大气→4×10^-3Pa≤15min

3.测试方法：

A.腔体内应清洁、无样品、无镀膜材料。

B.配睿宝数字复合真空计壹套（两路低真空电阻规，一路高真空电离规），带通讯接口

C.低真空测量规：ZJ-52型电阻规（玻璃规），其测量范围1×103 Pa～10^-1Pa。

D.高真空测量规：金属规（电离规），其测量范围10Pa～10^-5Pa。

E.测量规管加金属保护套：充气系统特殊设计，整个靶面充气均匀性，辉光放电效果好。

4.真空系统配置：A.TYFB-1600 复合分子泵（一台）(抽速1600L/s,泰岳恒）

                            B.直联泵BS90型（一台）（抽速28L/s,浙江鲍斯），带脚轮可自行移动。

5.真空阀门：高真空阀门、低真空阀门、预真空阀门、防喘流阀门均采用活塞式，气缸驱动，气缸采用电磁阀切换汽源，并安装在散热条件好，易于快速维修的位置。

6.放气阀采用气缸控制，设置在抽气室顶部。               

7.真空室内密封圈全部采用氟橡胶，能承受高温烘烤，各部分密封安全可靠。

8.真空系统管道采用不锈钢波纹管连接，以减小震动。

9.所有的抽气管道选用..不锈钢材料，并进行抛光处理

10.低阀、预阀、防湍阀、放气阀等采用304不锈耐酸钢制造。

三．蒸发源：

1.磁控溅射靶，配2个靶。靶尺寸为200mmX40mm，靶体通冷却水，靶的磁场结构、水冷结构必须适应相应的薄板靶材、导磁性靶材。

2.靶电源配国产5KW直流电源。

3.2个靶分布在实体两测

4.气动挡板安装不锈钢丝网，防止挡板上膜料污染靶材。离子轰击。棒状阴极，直流电压3kⅤ，功率600W

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